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多晶硅鑄錠用石墨件
 

多晶硅鑄錠用石墨件

鑄錠爐熱場主要由特種石墨用加熱器、石墨電極、石墨坩堝、DS塊、支撐桿、進氣管等零部件組成。

熱場是多晶硅鑄錠爐的心臟,其內(nèi)裝石墨加熱器、隔熱層、坩堝和硅料等。多晶硅工藝生產(chǎn)過程中多晶硅鑄錠爐加熱室的結(jié)構(gòu)設計顯得至關(guān)重要。石墨的來源廣泛,可加工成各種形狀,且具有熱慣性小,可以快速加熱,耐高溫,耐熱沖擊性好,輻射面積大,加熱效率高,基本性能穩(wěn)定等特點,成為了現(xiàn)在熱場的主要原料。

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